一、配氣儀特點

高精度、高分辨率控制

低功率（功率大小取決于配氣路數(shù)）

各路 MFC 集成 20 種基礎(chǔ)氣體種類

各路 MFC 可自定義 10 種混合氣體（20 種基礎(chǔ)氣體種類按比例混合）

數(shù)字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式

寬流量量程范圍

無需預(yù)熱

無安裝方向限制

具有高重復(fù)性和高可靠性

采用電磁比例閥，使用壽命長，響應(yīng)速度快

自帶溫度補償，補償范圍 0-50℃

內(nèi)部閉環(huán)控制，具有高穩(wěn)定性

小封裝尺寸

二、量程及精度簡介

稀釋比：最高 1000:1（更高稀釋比建議咨詢廠家）

各路 MFC 滿量程精度：±0.2%

各路 MFC 讀取精度：±0.8%

各路 MFC 可重復(fù)性：±0.2%FS

各路 MFC 響應(yīng)時間：＜100ms（調(diào)節(jié) PID控制參數(shù)可縮短響應(yīng)時間），數(shù)字式設(shè)計簡介

動態(tài)稀釋儀內(nèi)部配置了高精度質(zhì) 量流量控制器（MFC），各路 MFC 標配高精度傳

感器和數(shù)字電路，數(shù)字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。質(zhì)量流量控制器采用標準的RS-485 Modbus RTU 通信模式。

三、應(yīng)用領(lǐng)域

氣相和液相色譜儀

半導(dǎo)體工藝

環(huán)境監(jiān)測設(shè)備

微反應(yīng)裝置及材料制備實驗裝置（CVD）

氣體發(fā)生器

配氣混氣系

四、功能介紹

流量控制 ---可實現(xiàn)高精度、高重復(fù)性、多種氣體質(zhì)量流量控制。

獨立使用  ---無需連接任何設(shè)備，可通過屏幕完成大部分功能操作。

多種量程選擇  ---根據(jù)稀釋比需求各路 MFC 量程最小量程 10sccm，最大量程 50slpm 可選。

內(nèi)置 20 種基本氣體 ---各路 MFC 內(nèi)置 20 種基本氣體，氣體種類可定制。

10 種自定義混合氣 ---各路 MFC 可根據(jù)使用需求，自定義混合氣。

電氣接口  ---標準配置 1 個 AC220V 三項插座

控制方式  ---屏幕使用 RS-485 通信與內(nèi)部 MFC 進行通信。

標準 Modbus-RTU  ---RS-485 通信采用標準 Modbus-RTU 通信協(xié)議。

五、技術(shù)參數(shù)

1.運行參數(shù)

各路 MFC 讀數(shù)精度  ±0.8% Rdg

各路 MFC 滿量程精度 ±0.2% FS

各路 MFC 重復(fù)性 ＜±0.2% FS

各路 MFC 零點漂移和滿量程漂移 ＜±0.02% FS/℃/Atm

稀釋比 1000:1

各路 MFC 典型響應(yīng)時間 ＜100 毫秒（可調(diào)節(jié) PID 參數(shù)達到更短時間）

各路 MFC 啟動預(yù)熱時間 ＜1 秒

各路 MFC 標準工況 20℃&101.325kPa（標準工況溫度可通過 RS485 調(diào)整）

各路耐壓 1 MPa

安裝方向要求 無

電氣參數(shù) 工作電壓 AC 220V±15%

功率 取決于配氣儀路數(shù)

數(shù)字控制信號 RS-485 Modbus-RTU

電信號接口 AC220V 三項插座

2.物理參數(shù)

各路 MFC 閥門  比例閥（常閉）

各路 MFC 通過介質(zhì) 干燥氣體

各路 MFC 工作溫度 0-50℃

各路 MFC 傳感器溫度補償范圍 0-50℃

各路 MFC 工作濕度 0-100%（非冷凝）

存儲溫度 -40~85℃

各路 MFC 泄漏率 ＜0.020sccm He (壓差 150psi)